充分尊重客戶，以客戶為中心營造我們的經(jīng)營環(huán)境，客戶的滿意是我們的追求！
南京鵬控機電設(shè)備有限公司，一個不斷追求專業(yè)化的公司 http://www.vsvelsus.com 電話：025-58860935、85355355、58850162、58850165 傳真：025-58575593 感謝新老客戶關(guān)愛與支持！友誼、共享、感恩！
全部商品分類
HECAシリーズ
靜電チャック専用高圧電源
極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剝離が可能です。単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを內(nèi)蔵できます。
· 靜電チャック専用設(shè)計。
· 2ch出力內(nèi)蔵（1kV to 5kVタイプ）。
· 両極性出力。
· RFフィルタ內(nèi)蔵可能（オプション）。
· 電子切換で高速応答も可能（10ms）。
· リレーがないので高信頼、長壽命。
|
出 力 |
モデル名 |
||
|
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%ms] |
|
|
±1 |
6 |
0.1 |
HECA-1B6×2 |
|
30 |
0.1 |
HECA-1B30×2 |
|
|
±3 |
2 |
0.1 |
HECA-3Ｂ2×2 |
|
10 |
0.1 |
HECA-3Ｂ10×2 |
|
|
±5 |
1 |
0.1 |
HECA-5Ｂ1×2 |
|
6 |
0.1 |
HECA-5Ｂ6×2 |
|
|
±10 |
0.5 |
0.1 |
HECA-10B0.5 |
|
3 |
0.1 |
HECA-10B3 |
|
|
|
公司營業(yè)時間：周一～周五，北京時間【8:30-17:30】
|
Copyright 2010-2023 www.vsvelsus.com All Rights Reserved. 南京鵬控機電設(shè)備有限公司 
地址：南京市浦口區(qū)明發(fā)濱江新城346-350棟119號 聯(lián)系電話：025-58860935、85355355、58850162、58850165 傳真：025-58575593 技術(shù)支持：13611581880@163.com
蘇ICP備12002151號 
不良信息舉報 
傳播文明 
誠信網(wǎng)站 
網(wǎng)絡(luò)110
蘇ICP備12002151號 
蘇公網(wǎng)安備 32011102010170號